中国开始量产自主研发的浸润式深紫外光机（DUV），此举朝降低对外国技术依赖迈出关键一步。路透引述消息来源率先披露，主导该生产的是鲜为人知的中国国营公司上海爱晟纳电子科技集团（Aishengna），成立仅3年。

报道说，根据公司纪录，爱晟纳于2023年8月成立，注册资本额70亿人民币，仅由两家国有股东支持：上海电气控股公司，以及上海国际信托公司1家子公司。

爱晟纳没有公司网站，也没有揭露任何营运的公开资料。消息人士说，该公司整合了上海微电子装备集团（SMEE）与上海宇量昇科技的团队，去年宇量昇开始测试一台DUV原型机。

科技业新闻媒体The Information 27日率先报道，上海一家未透露名称的国有企业开始制造DUV，预计今年生产5台，2027年约生产20台。

路透首度披露该公司名称。知情者说，爱晟纳的DUV机台预计需进一步进行测试，其品质仍与荷兰艾司摩尔（ASML）的同类产品仍有一大段距离。然而，若西方持续限制DUV的出口，国产DUV将是中国芯片制造商的另一种设备来源。

The Information报道，中国制DUV机台预计今年交付给中芯国际、华虹半导体与长鑫存储。

分析师指出，尽管相关消息引发市场反应，但中期而言，不太可能对艾司摩尔（ASML）的获利造成影响。

摩根大通分析师28日指出，“生产一些浸润式DUV工具与制造可用来大量生产芯片的工具是两码子的事，对于后者，良率、叠对精度、产出量与数千片晶圆运作的可靠性才是关键”。

分析师认为，中期内，中国制造的DUV并不会对艾司摩尔的获利造成冲击。（路透）