“等离子”蚀刻机，28nm要用等离子了。  /无内容 - 无为 09/12/14 (521)

　　　　光刻才是核心技术 - redredred 09/12/14 (827)

　　　　　　半导体制造好像已经把光用到了极限，光好像都不大够用了  /无内容 - 老朽 09/12/14 (557)

　　　　　　　　做得太小，半导体元件的可靠性是个大问题  /无内容 - redredred 09/12/14 (502)

　　　　干法蚀刻，相对于湿蚀刻而言 - redredred 09/12/14 (639)