不是光刻机

光刻机用紫外线等短波，引发光化学反应，不涉及等离子反应

干法蚀刻用等离子反应去除光刻之后所暴露的物质

结构尺寸主要由光刻决定

28纳米蚀刻机只是其工艺控制符合28纳米光刻的要求