 光刻机腔体内是真空状态，防止晶片污染和EUV衰减。 /无内容 - 老六路 03/16/25 (341) |
 玻璃无法穿透，真空也无法封闭。反射6次衰减到百分之一 /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (304) |
 晶圆放进仪器内，抽到真空，才开始光刻工作。 /无内容 - 老六路 03/16/25 (275) |
| 华为的EUV用LDP光源，比ASML用LPP强的多。 /无内容 - 老六路 03/16/25 (346) |
| 长春光电所能做出euv光源但功率够，阿斯麦也因为这个受制于美 /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (336) |
| 长春做出光源出口阿斯麦，阿斯麦就能跳过美制裁，出口中euv了 /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (295) |
| 光源应该在长春光电所立项。没有立项就没钱，没钱就没人干 /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (284) |
| 还有，反射镜和光刻胶，那个必须先有光源，才能适配 /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (279) |
