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玻璃无法穿透,真空也无法封闭。反射6次衰减到百分之一
送交者: 毕云涛 2025月03月16日16:27:37 于 [世界军事论坛]
回  答:光刻机腔体内是真空状态,防止晶片污染和EUV衰减。 由 老六路 于2025-03-16 16:10:25
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当前新闻共有4条评论
  晶圆放进仪器内,抽到真空,才开始光刻工作。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (275)
    华为的EUV用LDP光源,比ASML用LPP强的多。  /无内容 - 老六路 03/16/25 (346)
    长春做出光源出口阿斯麦,阿斯麦就能跳过美制裁,出口中euv了  /无内容 - 毕云涛 03/16/25 (294)
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