扫描针尖电子束光刻机SPL。  /无内容 - 老六路 07/08/23 (284)

　　　　电子束的能量，口径，扫描完全可以用电磁控制，比光刻机的光学系 - 老六路 07/08/23 (332)

　　　　　　电子束需要高真空，于成本不利，无法批量生产 - kman 07/08/23 (276)

　　　　　　　　EUV 13.5nm波长也需要在真空中传播，除了空气对光的干 - 老六路 07/08/23 (315)

　　　　　　　　　　电子束如同喷墨打印机，光如同复印机 - liuqiuprince 07/08/23 (287)

　　　　　　　　　　　　那还得看性价比，每台设备价钱，整个芯片生产流程中，曝光时间占 - 老六路 07/08/23 (256)

　　　　　　　　　　　　　　甚至电子束不用扫描，参考相控阵雷达，做成电子源阵排列，一次打 - 老六路 07/08/23 (280)

　　　　　　　　　　　　　　　　相控阵也是扫描，而且看利用恰恰就是干涉效应 - liuqiuprince 07/08/23 (263)

　　　　　　　　　　　　　　　　而且这个电子源列阵还是通用的，控制电子源开关，靠的是两个坐标 - 老六路 07/08/23 (271)

　　　　　　　　　　　　　　　　　　说的比做的易，不要当真。  /无内容 - 老六路 07/08/23 (272)