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EUV 13.5nm波长也需要在真空中传播,除了空气对光的干
送交者: 老六路 2023月07月08日16:57:13 于 [世界军事论坛]
回  答:电子束需要高真空,于成本不利,无法批量生产 kman 于2023-07-08 15:58:15

扰,空气中的气体分子也会对芯片做成污染。

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当前新闻共有6条评论
  电子束如同喷墨打印机,光如同复印机 - liuqiuprince 07/08/23 (287)
        相控阵也是扫描,而且看利用恰恰就是干涉效应 - liuqiuprince 07/08/23 (264)
          说的比做的易,不要当真。  /无内容 - 老六路 07/08/23 (272)
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