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晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出12英寸硅单晶
送交者: 古宇庙 2021-07-23 07:11:39 于 [世界军事论坛]
晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出12英寸硅单晶
更新时间：2021/7/22 17:32:49  
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7月20日，晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。
　　
　　据晶盛机电官方消息，这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉生长出8英寸硅单晶之后，又一次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展。
　　
　　晶盛机电依托两项国家科技重大02专项课题（“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”），15年专注于半导体硅单晶生长装备研发，相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项国际领先技术。


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