上海微电子目前交货的成熟光刻机可以做到90纳米甚至45纳米。

最新的28纳米的光刻机据说目前已经交货，有一些客户在试用。估计这些机器会卖给俄罗斯。

俄罗斯自研350纳米光刻机难道目的是要掌握光刻机技术？这个有点渺茫。