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| 这东西比ASML简单有效,从环形电子加速器输出的就已经分成一 |
| 送交者: 老六路 2023月09月19日04:48:47 于 [世界军事论坛] |
| 回 答:中国光刻机技术颠覆ASML?深入解读清华大学SSMB-EUV技术 由 eastwest 于2023-09-19 00:09:10 |
一系列不同能量的电子束,再从不同能量的电子束激发出不同波长的EUV,根本连ASML复杂的反射镜或光栅也不用,要问一问真正的专家才知道。 |
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当前新闻共有7条评论 |
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