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这东西比ASML简单有效,从环形电子加速器输出的就已经分成一
送交者: 老六路 2023月09月19日04:48:47 于 [世界军事论坛]
回  答:中国光刻机技术颠覆ASML?深入解读清华大学SSMB-EUV技术 eastwest 于2023-09-19 00:09:10

一系列不同能量的电子束,再从不同能量的电子束激发出不同波长的EUV,根本连ASML复杂的反射镜或光栅也不用,要问一问真正的专家才知道。

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当前新闻共有7条评论
    既然你知道电子能谱,为什么不能利用这些电子束激发EUV?  /无内容 - 老六路 09/19/23 (214)
      还是求吉米给你科普一下吧,呵呵。  /无内容 - albert他祖宗 09/19/23 (141)
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