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能代替AMSL的极紫外光刻机吗
送交者: agree 2018月12月23日01:59:24 于 [世界军事论坛]
回  答:大突破！国产5nm刻蚀机通过验证，将用于台积电5nm芯片制造！ 由 棋迷 于2018-12-22 08:44:02
无内容
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当前新闻共有3条评论
　　中微的是蚀刻机，不是光刻机。  /无内容 - 老六路 12/23/18 (200)
　　　　明白了，光刻机就是曝光，蚀刻是挖沟。 - agree 12/23/18 (212)
　　　　　　细的线宽要用干刻，用等离子束来刻。  /无内容 - 老六路 12/23/18 (187)
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